一、半導體設（shè）備洗滌自動烘幹主要技術參數
1、內膽尺寸：左右雙內膽，單個內膽尺寸：寬2700*高1400*深2600mm；
2、外形尺寸（約）：寬6610*高3500*深（shēn）3025mm；
3、溫度範圍：常溫～+300℃可調 ；
4、溫度（dù）波動度（dù）：≤±1℃；
5、溫度均（jun1）勻度：≤±5℃(空載恒下測試)；
6、升溫速率：≤8℃/min；
7、潔淨度（dù）：Class100級（≥0.5μm塵粒≤3.5顆（kē）/升）（工作室）；
8、外（wài）殼溫度：溫升（shēng）不超過環境+25℃，門周邊除外。
9、電源：三（sān）相五線製，220V，50HZ；
10、總功率：120KW；
二、半導體設備洗滌自動烘幹箱體結構特征
1、外殼（ké）材料：采用2mm厚Q235冷軋鋼板（強度、塑性和（hé）焊接綜合性能好（hǎo））折彎焊接製作（zuò）；
2、內膽材料：采用1.5mm厚SUS304不鏽鋼板製作（zuò）；保持內膽清潔（jié）無（wú）塵，防生鏽、耐腐蝕；內部鈑金與保溫層全部滿焊，防（fáng）止保溫層隔熱棉（mián）泄漏，以（yǐ）保證潔淨度（dù）。
3、箱體骨架：采用50*50*3mm角鐵製作；保持箱體內外各個麵的承載（zǎi）強度，並保留（liú）熱脹冷（lěng）縮係數，可防止箱體變形。
4、密（mì）封材料：密封條采用進口高溫矽膠（jiāo）製作，可耐溫不變形，門（mén）與箱體連接密封，加強密封效果；
5、門：自動上下開門，從下（xià）往上開啟，共計2扇門，左右獨立控製。配有升降馬達，勻速控製。
三、半導體設備洗滌自動烘幹培訓
進行技術培訓
